硅单晶红外滤光片具有良好的红外光谱特性以及物理性能，目前已经广泛的在红外传感器滤光片主要采用单晶硅为基片，通过在基片上交替镀制不同折射率和厚度的材料薄膜，使基材具有长波通、短波通，带通，增透，反射等光学功能。

本公司专业提供的光学级单晶硅具有波长定位准确、透过高、截止深、温飘小、耐用性好、光洁度好等特点，参数可按客户要求定制。

产品规格说明：

外形尺寸

2"; 3"; 4"; 6"; 8”～12"

可定制

导电类型

N型/ P型、本征（不掺杂）

客户要求

直径

50~300mm

厚度

200 -1000 μm

可定制

常规厚度

Dia50.8 X 400μm, Dia76.2 X 400μm

Dia100 X 500μm，Dia200 X 725μm

Dia300 X 775μm

厚度误差

±10μm

平整度（TIR）

< 3 μm

翘曲度（BOW）

≤15μm

TTV

≤10μm

电阻率

0.0001-10000 (Ω·cm)

客户要求

碳含量

≤5.0 × 1016atoms/cc

氧含量

≤1.0 ×1018atoms/cc

晶向

〈100〉± 2；〈110〉± 2；〈111〉± 2

少子寿命

≥15μs

位错密度

3 X 103/cm2

级别

光学级；太阳能级；IC级

客户要求

类型

研磨片，单抛片，双抛，

客户要求

热氧化，氮化，镀金，镀铂