湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55时，冷却水管壁上会结露，如果发生在装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45。

静电问题所以在洁净室中特别严重，是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素，而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面，尼龙、的确良等工作服都有很高的电阻率，都易产生静电和集聚静电，在洁净室的静电灾害未被重视以前，这些材料料是被广泛采用的。

洁净室

对生物洁净室，除对送入洁净室的空气中的生物或非生物微粒数要受到控制，还要对室内器具、地面、墙面、壁板等表面进行处理。空气洁净技术不能杀灭，生物洁净室运行管理中采取、措施，减少微生物在洁净室中的生存、繁衍。

目前，传统方法为：紫外线、药剂、加热和臭氧法。它们可靠性都很好，应用为广泛。

另外，整个被的洁净室应通过送回风管形成循环状态，每天开机做空气1—1.5小时;若需对洁净室墙体、地面和设备等表面进行则需2小时左右。

无尘室与扩散的效果类似，当过滤材料带静电时，粉尘在滤材中滞留的时间越长，被材料吸附的可能性就越大，改变风速，带静电材料的过滤效率会明显改变，如果你材料上有静电，进行空调系统设计时就应该尽可能地减少通过每只过滤器的风量。

对于以惯性机理为主的大颗粒粉尘，根据传统理论，风速降低后，粉尘与纤维碰撞的几率会减少，过滤效率会随之降低，但在实践中这种影响并不明显，因为风速小了，纤维对粉尘的反弹力也小了，粉尘更容易被粘住。