铟属于稀散金属,是一种稀缺的战略资源。铟因其光渗透性和导电性强,主要可用于生产ITO靶材,而ITO靶材是制造液晶显示器和平板屏幕的主要原材料,这一用途是铟的主要消费领域,占全球铟消费量的70%;ITO靶材生产及其后续加工过程中产生的边角料、切屑和废品,以及溅射镀膜后的废靶材等,是铟的二次再生资源的主要来源。
为了进一步极限化的提高铟锡的收率,进一步简化工序,提升生产效率,减少环境污染,此次在基于氯化锡具有相对较低沸点的特性的基础上,设计了“盐酸浸出—蒸馏分离铟锡—锌或铝置换铟—蒸出锡提纯制五水氯化锡/蒸出酸回用”的技术方案,并进行了系统的试验验证。
ITO(氧化铟锡)靶材是溅射靶材中陶瓷靶材(化合物靶材)的一种,在显示靶材中占比将近50%。ITO靶材就是将氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型,再高温气氛烧结(1600度,通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体。
从全球ITO靶材需求量来看,据统计,截至2019年全球ITO靶材市场需求量为1680吨,2015-2019年CAGR为5.5%。