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纳米氧化硅抛光液对 LED 蓝宝石衬底具有优异的抛光性能，抛光后的表面无划伤、无腐蚀坑，且粗糙度小于 0. 2 nm。

纳米氧化硅抛光液用于 LED 蓝宝石衬底表面抛光，抛光速率可以达到5 μm/h左右，粗糙度可以达到 0. 2 nm 以下，且表面几乎无微观缺陷。

技术指标

项目

指标

型号

VK-SQ50W

VK-SQ80W

外观

白色乳液

白色乳液

粒径 nm

50

80

含量 %

30

30

pH

9-11

9-11

抛光特点：应用领域广、抛光效率高， 可用于硅片、化合物晶体、精密光学器件、宝石、金属等的抛光加工。

包装：5kg/桶；25kg/桶