l更高的精度：24bit采样

l更多的参数组选择：99组

l更多的IO接口：8 IN,8 OUT

l友好的人机界面：5寸彩色触摸屏

l便利的数据导出：RS232

l节约系统成本：夹具控制功能

概况

电源电压

220

伏（V/AC）

设备功率

50

瓦（W）

气源压力

0.4～0.7

兆帕（MPa）

环境温度

10～45

摄氏度（℃）

设备尺寸

250*300*160

毫米（mm）

设备重量

2.5

公斤（KG）

参数

测试方式

流量测试

测试压力（可选）

A:1～30，B:20～700，C：50～1000

千帕（kPa）

流量范围（可选）

0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500

1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，1500

毫升/分钟（sccm）

毫升/分钟（SLPM）

测试时间

0～999.9

秒（S）

流量分辨率

0.1

毫升/分钟（sccm）

精度

±0.8％读数±0.2％满量程

配置

压力调节方式

机械调节

设备接口

RS232，IO

屏幕参数

5寸彩色触摸屏

参数组数量

99个独立组号

数据容量

5000个测试结果

夹具控制

2个

气源处理

配置过滤器

P520L正压流量检测仪